气体质量流量控制器/成都质量流量控制器/微小量程气体质量流量控制气/流量计

LF420-S模拟型气体质量流量控制器/流量计
简要描述：用于对小流量气体的质量流量进行精密的测量和控制，具有精度高，稳定性好，模拟电路，可靠性高，安装简单，操作方便。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
技术参数：
产品型号	LF420-SC	LF420-SM
满量程范围	SCCM   0～5，10，20，30，50，100，200，500
SLM    0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30
量程比	控制器50:1	流量计100:1
精度	±1.0%F.S
线性	±0.5%F.S
重复性	±0.2%F.S
阀门类型	常闭阀
响应时间	≤1S-3S
工作压差	0.1...0.5Mpa
较大耐压	3MPa
工作环境温度	5...45℃
泄漏率	1×10-8Pa.m3/s
通信信号	0-5V / 4-20MA
供电方式	24VDC（250mA）
密封材料	丁晴橡胶  氟橡胶（可选）
接头尺寸	3mm  6mm  8mm  10mm  1/8” 1/4”  3/8”
电器接头	DB9针
技术参数：